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真空系统的工作原理是什么?

产品描述

  一个标准大气压为1.0133×105帕。“真空”是指气压低于一个大气压的气体状态。在真空状态下,单位体积中的气体分子数大幅度减少,分子平均自由程增大,气体分子之间、气体分子与其它粒子之间的相互碰撞也随之减少。这些特点被应用于科研、生产的许多部门中。例如:加速器,电子器件,大规模集成电路,热核反应,空间环境模拟,真空冶炼等。在高真空中,由于材料中易挥发物的损失,表面吸附层的变化,物体表面特性也随即改变。七十年代以来,表面科学的研究一直十分活跃,它不仅有很强的理论性,还有重大的应用价值。随着科研、生产的发展,获得并保持真空已形成一门相应的技术¾¾真空技术。它包括:真空的获得、真空测量、检漏、真空系统的设计等

  依据真空概念,低于一个大气压的气体状态称为真空。真空度愈高,压强愈低,故用气体压强表示真空度。我国采用国际单位帕(Pascal),以前曾经常使用另一真空度单位托。压强换算关系见表1-1。

  目前线帕,从一个标准大气压到10-12帕,几乎有10^17数量级这样宽的压强范围。因此通常将真空范围划分为几个区域,不同的真空区域必须用不同的抽气设备和测量仪器,见表1-2真空区域划分及其特点和应用。

  真空是指在给定的空间内低于一个大气压力的气体状态,是一种物理现象,在真空技术里,真空系针对大气而言,一特定空间内部之部份物质被排出,使其压力小于一个标准大气压,我们通称此空间为真空或真空状态;

  旋片式线所示。主要部件为圆筒形定子、偏心转子和旋片。工作原理如图3-1所示。偏心转子绕自己中心O轴按箭头所示方向转动,转动中定子、转子在B处保持接触、旋片靠弹簧作用始终与定子接触。两旋片将转子与定子间的空间分隔成两部分。进气口C与被抽容器相连通。出气口装有单向阀。当转子由(a)转向(b)时,空间A逐步扩大,气体通过进气口被吸入;转子转到(C)位置,空间A和进气口隔开,转到(d)位置以后,气体受到压缩,压强升高,直到冲开出气口的单向阀,把气体排出泵外。转子连续转动,这些过程就不断重复,从而把与进气口相连通的容器内气体不断抽出,达到真空状态。

  机械泵在工作过程中,转子在快速运动,两片旋片在不断伸缩,在定子与转子、旋片与定子、旋片与转子各自的接触处都存在磨擦,同时为实现相对运动,活动零件相互间留有一定的公差,即存在着微小间隙。因此整个泵体必须浸没在机械泵油中,才能工作。泵油起着密封润滑和冷却的作用。

  旋片真空泵是获得低、中真空泵的主要泵种之一,它可分为油封泵和干式泵,根据所要求的真空度(人们把线pa,中线pa,高线pa,超高线pa),可采用单级泵和双级泵,其中以双级泵应用更为普遍;个人会使用的旋片式真空泵(简称旋片泵)是一种油封式机械真空泵,其工作压强范围为101325-133X10-2(Pa),属于低真空泵,它可以单独使用,也可当作其它高真空泵或超高真空泵的前级泵,广泛地应用于冶金、机械、军工、电子、化工、轻工、石油及医药等生产和科研部门。

  旋片泵具有抽速快,体积小,重量轻,噪声低,维修方便,极限真空度高等优点,可以抽除密封容器中的干燥气体,若附有气镇装置,还可以抽除一定量的可凝性气体,但它不适于抽除含氧过高的,对金属有腐蚀性的、对泵油会起化学反应以及含有颗粒尘埃的气体。

  旋片泵是真空技术中最基本的真空获得设备之一,旋片泵多为中小型泵,旋片泵有单级和双级两种,所谓双级,就是在结构上将两个单级泵串联起来,一般多做成双级的,是由高压级与低压级二部分所组成,它的吸入口与真空容器或真空设备连接,在运转时容器内的气体将大量吸入与排出。当设备获得真空时,高压级排气阀片将封闭,高压级吸入的气体将转送到第二级,并经第二级吸入与排出,这样真空设备可获得一定的真空,按照每个用户使用情况,可配备真空增压泵,将该泵做为前级泵,由于增压泵的抽气力加强,前级泵连续抽除,能使设备获得更高的真空;旋片泵的抽速与入口压强的关系规定如下:在入口压强为1333Pa133Pa和1.33X10 ^1(Pa)下,其抽速值分别不能低于泵的名义抽速的95%、50%和20%。

  (1)起始工作压强是指真空泵开始工作时,被抽容器或泵入口处应达到的压强值。如果超过该压强值,真空泵将无法工作。一般扩散泵起始压强为10^-1帕,而机械泵为一大气压。

  (2)最大反压强是指维持真空泵正常工作状态,泵的出口处所能承受的最大压强,又称临界反压强。真空泵出口处压强超过最大反压强,将不能工作。油扩散泵的最大反压强约为30帕左右。

  (3)极限压强是指真空泵入口端经过充分抽气后所能达到的最低压强,亦称极限线)抽气速率是指在一定压强、温度下,泵在单位时间内从被抽容器中抽出的气体体积。

  截面为椭圆形的薄壁金属弯管,一端封闭,另一端与真空室相通,当管内压强变化时,该弯管在内外压强差作用下发生弹性变形,这一变形传送给指示器,由刻度读出。如指针式压力真空表,这一类真空计适用于测量粗线.静态液体真空计

  也称“U”形管压差计,它一端通大气,一端通真空系统,利用两管液面(如扩散泵油等)高度差表示系统的压强。

  结构如图所示,A、B两部分在N处连通,当水银杯R升高,水银上升越过刻线N后,原B、C中的气体全被压入测量毛细管C中。在压缩过程中气体温度可视为不变;又A、D部分和真空系统连通,系统容积远大于A、D部分,故压缩时可认为系统内压强不变。A、D;B、C两部分气体的压强差可由毛细管C、D水银柱的高度差h表示。以V表示N以上BC的总体积,VC为C管中压缩后气体的体积,根据玻义耳定律。

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